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産品目錄
産品技術
半導體
集成電路
iTomic® HiK系列原子層沉積系統
iTronix®系列化學氣相沉積系統
iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統
iTomic® PE系列等離子體增強原子層沉積系統
先進封裝
iTronix®系列化學氣相沉積系統
iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統
iTomic® PE系列等離子體增強原子層沉積系統
MEMS
iTomic® HiK系列原子層沉積系統
iTronix®系列化學氣相沉積系統
iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統
iTomic® Lite系列輕型原子層沉積系統
矽基微顯示
iTronix®系列化學氣相沉積系統
iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統
泛半導體
iTomic® HiK系列原子層沉積系統
iTronix®系列化學氣相沉積系統
iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統
iTomic® Lite系列輕型原子層沉積系統
其他
Trancendor®晶圓真空傳輸系統
光伏
硼擴散
羲和®系列高溫低壓系統
退火
羲和®系列高溫低壓系統
隧穿氧化/多晶矽沉積
祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系統
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系統
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統
正膜Al₂O₃/SiNₓ
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系統
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統
正膜Al₂O₃
誇父®系列KF20000批量式ALD系統
背膜SiNₓ
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系統
阻隔封裝
電子傳輸層 SnOₓ
界面層/封裝層 AIOₓ
産業化應用中心
産業化應用中心
iOptomic 系列原子層沉積系統
iTomic® PE系列等離子體增強原子層沉積系統
後羿®系列 闆式ALD系統
iSparol系列卷對卷ALD系統
iTomic® MW Lite批量輕型系列原子層沉積系統
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集成電路
集成電路是指，在單一芯片上集成數百萬甚至數十億個電子元件，如晶體管和電容器，用于處理和存儲信息，是現代電子設備的核心。
泛半導體
泛半導體是一類半導體材料，如氮化镓、碳化矽等，廣泛用于制造高頻電子元件、LED和高效電源，具有優越的電子特性。
矽基微顯示
矽基微顯示技術使用矽芯片制造微型顯示屏，如OLED，用于智能眼鏡、頭戴式設備和虛拟現實系統，提供高分辨率的視覺體驗。
MEMS
MEMS系統集成微型機械、電子和傳感器元件，用于加速計、氣壓計和慣性導航，實現精确的測量和控制。
先進封裝
先進封裝技術改進了半導體芯片的性能和連接性，例如3D封裝、TSMC CoWoS等，促進了更小、更快、更強大的電子設備的發展。
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