江蘇微導納米科技股份有限公司

産品目錄

産品技術

半導體

集成電路

iTomic® HiK系列原子層沉積系統

iTronix®系列化學氣相沉積系統

iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統

iTomic® PE系列等離子體增強原子層沉積系統

先進封裝

iTronix®系列化學氣相沉積系統

iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統

iTomic® PE系列等離子體增強原子層沉積系統

MEMS

iTomic® HiK系列原子層沉積系統

iTronix®系列化學氣相沉積系統

iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統

iTomic® Lite系列輕型原子層沉積系統

矽基微顯示

iTronix®系列化學氣相沉積系統

iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統

泛半導體

iTomic® HiK系列原子層沉積系統

iTronix®系列化學氣相沉積系統

iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統

iTomic® Lite系列輕型原子層沉積系統

其他

Trancendor®晶圓真空傳輸系統

光伏

硼擴散

羲和®系列高溫低壓系統

退火

羲和®系列高溫低壓系統

隧穿氧化/多晶矽沉積

祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系統

祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系統

祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統

正膜Al₂O₃/SiNₓ

祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系統

祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統

正膜Al₂O₃

誇父®系列KF20000批量式ALD系統

背膜SiNₓ

祝融系列ZR5000×1管式PECVD系統

阻隔封裝

電子傳輸層 SnOₓ

界面層/封裝層 AIOₓ

産業化應用中心

iOptomic 系列原子層沉積系統

iTomic® PE系列等離子體增強原子層沉積系統

後羿®系列闆式ALD系統

iSparol系列卷對卷ALD系統

iTomic® MW Lite批量輕型系列原子層沉積系統

半導體

我們是成功将量産型 High-𝘬原子層沉積設備應用于集成電路制造前道生産線的國産設備公司，實現了國産ALD設備“從0到1”的突破。我們在邏輯芯片、存儲芯片、化合物半導體、新型顯示等諸多半導體細分領域實施多元布局，已獲得知名客戶重複批量訂單，跻身爲能與國際巨頭“同台競技”民族企業之一。

産品展示

iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統

iTomic® Lite系列輕型原子層沉積系統

iTomic® PE系列等離子體增強原子層沉積系統

Trancendor®晶圓真空傳輸系統

應用領域

集成電路

集成電路是指，在單一芯片上集成數百萬甚至數十億個電子元件，如晶體管和電容器，用于處理和存儲信息，是現代電子設備的核心。

泛半導體

泛半導體是一類半導體材料，如氮化镓、碳化矽等，廣泛用于制造高頻電子元件、LED和高效電源，具有優越的電子特性。

矽基微顯示

矽基微顯示技術使用矽芯片制造微型顯示屏，如OLED，用于智能眼鏡、頭戴式設備和虛拟現實系統，提供高分辨率的視覺體驗。

MEMS

MEMS系統集成微型機械、電子和傳感器元件，用于加速計、氣壓計和慣性導航，實現精确的測量和控制。

先進封裝

先進封裝技術改進了半導體芯片的性能和連接性，例如3D封裝、TSMC CoWoS等，促進了更小、更快、更強大的電子設備的發展。

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