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産品目錄
産品技術
半導體
集成電路
iTomic® HiK系列原子層沉積系統
iTronix®系列化學氣相沉積系統
iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統
iTomic® PE系列等離子體增強原子層沉積系統
先進封裝
iTronix®系列化學氣相沉積系統
iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統
iTomic® PE系列等離子體增強原子層沉積系統
MEMS
iTomic® HiK系列原子層沉積系統
iTronix®系列化學氣相沉積系統
iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統
iTomic® Lite系列輕型原子層沉積系統
矽基微顯示
iTronix®系列化學氣相沉積系統
iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統
泛半導體
iTomic® HiK系列原子層沉積系統
iTronix®系列化學氣相沉積系統
iTomic® MW系列批量式原子層沉積系統
iTomic® Lite系列輕型原子層沉積系統
其他
Trancendor®晶圓真空傳輸系統
光伏
硼擴散
羲和®系列高溫低壓系統
退火
羲和®系列高溫低壓系統
隧穿氧化/多晶矽沉積
祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系統
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系統
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統
正膜Al₂O₃/SiNₓ
祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系統
祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統
正膜Al₂O₃
誇父®系列KF20000批量式ALD系統
背膜SiNₓ
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系統
阻隔封裝
電子傳輸層 SnOₓ
界面層/封裝層 AIOₓ
産業化應用中心
産業化應用中心
iOptomic 系列原子層沉積系統
iTomic® PE系列等離子體增強原子層沉積系統
後羿®系列 闆式ALD系統
iSparol系列卷對卷ALD系統
iTomic® MW Lite批量輕型系列原子層沉積系統
産業化應用中心
我們以公司現有技術爲基礎，圍繞國産化替代的戰略需求，結合行業内最前沿的技術發展趨勢和市場需求，針對先進技術和工藝性能，搭建研發平台、高端研發人才培養平台以及未來新項目、新企業發展孵化器。 産業化應用中心使公司具有前瞻應用定制化能力，可爲客戶提供全場景 Demo 設備線，從而能夠及時響應客戶的各類需求，爲客戶提供全方位的解決方案。
工藝開發能力
專業團隊
人員配置齊全
涵蓋物理、化學、材料、半導體、微電子等專業
成功案例
工藝開發經驗豐富
已成功開發出10餘種氧化物、氮化物及金屬材料
量産工藝
熟悉ALD工藝及應用場景
可針對客戶和市場需求開發可量産工藝
前瞻應用
具備豐富的行業上下遊知識儲備
掌握國際領先的ALD技術
産學研合作
Demo管控
客戶Demo經驗豐富，爲量産方案提供專業性支持
專業解決方案
針對客戶需求，可專業化定制解決方案
産品特性
熟悉ALD制備的薄膜特點，深入掌握其功能性應用
行業經驗
熟悉ALD工藝及應用場景，涵蓋半導體、光伏、新材料、新能源等領域
學術合作
與上海交通大學、南京大學.芬蘭赫爾辛基大學等知名院校建立良好合作關系，共同推進ALD 技術創新發展
産品展示
iOptomic 系列原子層沉積系統
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iTomic® PE系列等離子體增強原子層沉積系統
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後羿®系列 闆式ALD系統
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iSparol系列卷對卷ALD系統
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iTomic® MW Lite批量輕型系列原子層沉積系統
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應用領域
半導體
晶圓類基底
緻力于開發高介電常數、金屬化物等客戶制程所需的薄膜材料，存儲器MIM等薄膜材料；擴展性開發低溫氧化矽、氮化矽，以及其他薄膜材料滿足各類客戶需求。
晶圓封裝
晶圓類基底
緻力于開發開發阻水功能薄膜，提升器件可靠性； 涉及領域包括OLED、Mini-LED、Mirco-LED等光電顯示領域
柔性封裝
非晶圓類基底
針對柔性基底，緻力于開發阻水阻氧層、減反層、增透層、透明導電層、介電層等功能薄膜； 涉及領域包括顯示的柔性封裝阻水阻氧保護層，新型顯示器件的包覆層等。
粉末包覆
非晶圓類基底
緻力于開發離子導電界面層，人工SEI膜保護膜，锂電池正、負極保護膜，量子點/微球顆粒鈍化膜、微納催化顆粒保護膜等； 涉及領域包括液态、半固态及全固态電解質動力锂電池制造領域，光電器件領域中的量子點包覆、各類微納催化劑顆粒包覆等。
鈣钛礦光伏
非晶圓類基底
緻力于開發電子傳輸層、空穴傳輸層，界面修飾層、水氧阻隔等功能膜層。涉及領域包括晶矽鈣钛礦疊層電池、單結鈣钛礦電池、雙結鈣钛礦電池、全柔鈣钛礦電池。
光學減反
非晶圓類基底
緻力于開發高低折射率透明氧化物膜層、新結構漸變折射率氧化物膜層，實現在420~680波段反射率＜0.1% 。涉及領域包括傳統光學、SWC光學鏡頭。
TFT功能層
非晶圓類基底
緻力于開發高載流子遷移率金屬氧化物薄膜，針對器件不同需求，調節載流子遷移率可調，提升器件性能。涉及領域包括OLED、TFT等光電顯示領域。
共同合作研發
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