江蘇微導納米科技股份有限公司

國内ALD産品市占率

億＋

在手專用設備訂單

100

5年營收複合增長率

江蘇微導納米科技股份有限公司（簡稱“微導納米”，股票代碼688147.SH）成立于2015年12月，是一家面向全球的半導體、泛半導體高端微納裝備制造商。公司形成了以原子層沉積（ALD）技術爲核心，CVD等多種真空薄膜技術梯次發展的産品體系，專注于先進微米級、納米級薄膜設備的研發、生産與應用。公司業務涵蓋集成電路、光伏、LED，及MEMS 等泛半導體相關領域，以及新能源和柔性電子領域；主要産品爲應用于邏輯芯片、存儲芯片、光伏電池、矽基微顯示、化合物半導體和3D封裝等半導體及泛半導體的專用設備和成套技術，以及應用于柔性電子、新一代高效太陽能電池整線的量産解決方案。

我們的戰略

面向全球的半導體
泛半導體高端微納裝備制造商

ALD技術爲核心
CVD等多種真空薄膜技術梯度發展

半導體行業内多項設備
關鍵工藝指标達到國際先進水平

光伏行業内提供高效電池技術
與設備的領軍者之一

ALD産品營收規模方面
位居國内同類企業第一

我們的進展

公司成立-2017.07

公司成立于2015年12月25日
一代機KF4000研制成功，全球首創将ALD技術規模化應用于光伏領域

2017.08-2018.05

KF6000成功在光伏龍頭企業通威太陽能完成量産驗證
研發以臭氧工藝爲核心工藝的KF10000S機型，産能提升至10000片/小時

2018.05-2018.12

誇父（KF）系列在各大光伏頭部企業産線開始量産爬坡，公司産品在行業内知名度進一步提升
誇父（KF）原子層沉積設備被評定爲“江蘇省首台（套）重大裝備産品”
啓動半導體領域與柔性電子領域機型的研發工作，公司實施産品線多元化戰略

2019.01-2020.12

推出祝融（ZR）系列PEALD+PECVD二合一設備，首次将PEALD技術應用于光伏領域
半導體領域ALD鍍膜設備研發成功，完成多種集成電路關鍵材料工藝驗證，并與客戶簽訂訂單
公司進行股份制改造，連續完成兩輪融資，并引入多家知名投資機構

2020.12-2022.12

2022年12月23日，公司成功登陸上交所科創闆
在光伏領域，公司高端光伏裝備陸續獲得包括阿特斯、隆基股份、愛旭股份、晶科能源等多家重要光伏客戶訂單，引領TOPCon高效電池的量産導入，從PERC/PERT進一步向TOPCon乃至HJT/IBC技術延伸
在半導體領域，公司是國内首家成功将量産型High- 𝘬原子層沉積設備應用于集成電路制造前道生産線的國産設備公司，正式進軍邏輯芯片、先進存儲、3D-IC等鍍膜制造領域

2023.01-至今

半導體領域，公司以 ALD爲核心正逐步拓展 CVD 等多種真空技術和産品
光伏領域，公司持續推進以 ALD 爲核心的工藝整線策略和新一代高效光伏電池技術開發
同時依托産業化應用中心平台，探索先進薄膜沉積技術在其他新興應用領域的發展機會

公司成立-2017.07

首台産品研發驗證階段

2017.08-2018.05

下遊龍頭客戶攻堅階段

2018.05-2018.12

市場與産品突破階段

2019.01-2020.12

公司加速發展階段

2020.12-2022.12

公司戰略升級發展階段

2023.01-至今

擴張新興應用領域

我們在行動

公司先後榮獲國家專精特新“小巨人”企業、中國獨角獸企業、江蘇省小巨人企業（制造類）等榮譽稱号，并被認定爲江蘇省企業技術中心、江蘇省工程技術研究中心、江蘇省工程研究中心、江蘇省外國專家工作室、江蘇省博士後創新實踐基地、江蘇省研究生工作站等。在不斷完善自有研發平台建設、持續鞏固自身研發實力的同時，我們與複旦大學、上海交通大學、南京大學、芬蘭赫爾辛基大學、澳洲新南威爾士大學等知名院校均建立了良好的合作關系，共同推進技術的創新發展。

公司榮譽